1.波形產(chǎn)生器主要由DSP和數(shù)字上變頻器構(gòu)成，DSP作為主控制器設(shè)定數(shù)字上變頻器的調(diào)制方式和輸出波形。

2.為實現(xiàn)電子束曝光機(jī)掃描場的線性畸變校正，設(shè)計了圖形發(fā)生器的成像系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括硬件和軟件兩部分。