1.他們驚訝地發現，懸臂彎曲的角度和液體的粘稠度具有線性關系，而懸臂的彎曲度可以通過電子設備讀出。

2.總結了微機械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅動技術，推導了計及邊緣效應的梳狀靜電驅動器靜電力公式。

3., 總結了微機械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅動技術，推導了計及邊緣效應的梳狀靜電驅動器靜電力公式。

4.總結了微機械懸臂梁的靜電、壓電、熱、電磁等驅動技術，推導了計及邊緣效應的梳狀靜電驅動器靜電力公式。